光罩簿RETICLE-BOOK · 盒、罩、层三码对齐
无尘室光罩盒与青色 pellicle 膜

2026 · 石英冷白 / pellicle 膜青 / Hold 洋红

上错层、pellicle 过期
报废的是整批晶圆

光罩簿把光罩从「谁拿走了 U 盘清单」收成不可混用的资产链：每片绑定产品、层、光源/机型、版本与 Hold。出库必须对上本批要曝光的层，盒 RFID 与罩号不一致锁上机。本页写清适用前提、如何工作和对岗位的价值。不控扫描机，不判 haze。

盒 R-19 · 层 VIA

错层锁出库

本批要的是 METAL，已扫到 VIA。外形一样也会整批作废。

打开工作台 先读适用前提

需求 / 适用前提

同一产品多层罩外形一样

工作台管身份、次数与 Hold，不管光刻胶配方和晶圆良率。没有罩号、层、盒 RFID，不得开盖。

  • 必须先有：罩号、产品层、机型/光源、版本、盒 RFID、曝光计数、pellicle 日
  • 谁在用：光罩库、机台操作（受限）、光罩工程师、工艺整合
  • 现在为什么报废：拿错层、旧版未作废、pellicle 破损、次数事后拼、清洗与机台分身对不上

如何工作

罩档 · 出库闸 · 上机核对 · 次数 · pellicle · 分身账

  1. 罩档。 罩号、产品、层、机型、版本、盒号 RFID。
  2. 出库闸。 工单层号与罩号必须一致。Hold/作废锁出库。
  3. 上机核对。 扫描机读盒号，与配方层不匹配禁止开始。
  4. 次数与清洗。 到阈自动派检/换膜。
  5. Pellicle 页。 安装日、破损、更换。无有效膜可禁上机。
  6. 分身账。 在洗/在库/在机状态互斥。
洋红 Hold 封条贴在光罩盒边
Hold 罩灰出。不得进扫描机。

出库演练

点「下一罩」，看 Hold 而不是开盖

默认错层锁出库。下一状态可能是 pellicle 过期。打开 https://apps.chatsoftware.cn/reticle-book/ 看罩档、出库、上机、次数、pellicle。

使用者价值

错层上机趋零，Hold 罩进机趋零

库管收发盘点 Hold；机台只核对能否上机；工程师看次数、清洗、pellicle；整合看版本与层清单。错层说明不改曝光配方。

边界

不控扫描机，不判能否继续用

  1. 曝光与清洗仍走机台 SOP。本簿管身份、次数与 Hold。
  2. 不替代掩模缺陷检测，不算 overlay/CD，不管 FOUP。
  3. 不是芯片霓虹广告，也不是卡牌收集。

进出角色

三码进，锁上机出

进入：COA、工单层、盒 RFID、次数。出去：出库闸、Hold、派检。不是未核对的开盖。工作台 https://apps.chatsoftware.cn/reticle-book/