密封检漏
真空/色水、泄漏板物理隔离 · 软件不可旁路
真空腔状态
-0.08
MPa 真空度
检漏通道联锁 · 旁路已封锁
隔离区
泄漏板专用通道 · 禁止回流
BP-240826-A12
真空检漏
0.02%
泄漏率
旁路封锁
BP-240826-A10
真空检漏
1.8%
泄漏率
已隔离旁路封锁
BP-240826-A09
色水检漏
0%
泄漏率
旁路封锁
合规边界
AI 不单独放行检漏失败板。泄漏与缺粒通道物理隔离，剔除事件不可丢失。
真空/色水、泄漏板物理隔离 · 软件不可旁路
真空腔状态
-0.08
MPa 真空度
检漏通道联锁 · 旁路已封锁
隔离区
泄漏板专用通道 · 禁止回流
BP-240826-A12
真空检漏
0.02%
泄漏率
BP-240826-A10
真空检漏
1.8%
泄漏率
BP-240826-A09
色水检漏
0%
泄漏率
合规边界
AI 不单独放行检漏失败板。泄漏与缺粒通道物理隔离，剔除事件不可丢失。