压差 HEPA
曲线不间断 · 异常 < 5 秒告警
-56 Pa
目标 -60 Pa
实时压差曲线
P3-2A 操作间 气闸入口 气闸出口
历史采样
| 时间 | 操作间 | 气闸入 | 气闸出 |
|---|---|---|---|
| 09:00 | -58 | -42 | -38 |
| 09:30 | -59 | -44 | -40 |
| 10:00 | -57 | -43 | -39 |
| 10:15 | -55 | -41 | -37 |
| 10:24 | -56 | -42 | -38 |
曲线不间断 · 异常 < 5 秒告警
-56 Pa
目标 -60 Pa
实时压差曲线
历史采样
| 时间 | 操作间 | 气闸入 | 气闸出 |
|---|---|---|---|
| 09:00 | -58 | -42 | -38 |
| 09:30 | -59 | -44 | -40 |
| 10:00 | -57 | -43 | -39 |
| 10:15 | -55 | -41 | -37 |
| 10:24 | -56 | -42 | -38 |