PECVD 膜

膜厚、色差、隐裂前置

更新于 5/15 20:10

平均膜厚

78 nm

目标 75 – 85 nm

平均色差

Δ1.9

判定 ≤ Δ2.5

隐裂风险批

1

转 EL 前置复检

镀膜节拍

2,400 片/h

二线 · 双面镀膜

D-250515-A

风险低

78 nm

色差 Δ1.2 · 膜色均匀

镀膜完成 5/15 19:45 · 石英舟 1 号

D-250514-B

隐裂风险

82 nm

色差 Δ2.8 · 色差超限

镀膜完成 5/14 23:30 · 石英舟 2 号

D-250513-C

风险低

75 nm

色差 Δ1.8 · 膜色均匀

镀膜完成 5/14 11:15 · 石英舟 3 号