全部站点 · 夹层真空先于用户阀真空风险 12 · NER 超标 8 · 阀超期 5

蒸发率 NER

日损日历与真空联动。超标不是用户「用得快」。

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  • CT-0007120.86%/d · 125 micron
  • CT-0004180.61%/d · 88 micron
  • CT-0002760.73%/d · 96 micron

蒸发异常归因

对照使用量与环境温度,区分真空失效还是阀门微漏。