模块三 · ≤10% 或 ≤5%RH · 暂停 / 清零按 MSL
柜闸
干燥柜上限 10%RH。MSL5a 与 MSL3 不可混规则。
| 料盘 | RH% | 在柜 | 闸口 |
|---|---|---|---|
| RL-25-0520-001 | 18 | 在 | 料盘 RL-25-0520-001 干燥柜 18%RH 超 10%，不可暂停时钟 |
| RL-25-0519-010 | 8 | 在 | 可暂停 |
| RL-25-0518-015 | 9 | 在 | 可暂停 |
当前 RL-25-0520-001。
超寿命或 HIC 变色，禁止发料
模块三 · ≤10% 或 ≤5%RH · 暂停 / 清零按 MSL
干燥柜上限 10%RH。MSL5a 与 MSL3 不可混规则。
| 料盘 | RH% | 在柜 | 闸口 |
|---|---|---|---|
| RL-25-0520-001 | 18 | 在 | 料盘 RL-25-0520-001 干燥柜 18%RH 超 10%，不可暂停时钟 |
| RL-25-0519-010 | 8 | 在 | 可暂停 |
| RL-25-0518-015 | 9 | 在 | 可暂停 |
当前 RL-25-0520-001。