T1
预洗槽
水基 · 自来水
—
29.0°C · 装载 62%
下次换液 2026-09-18
配方与槽液
槽序是水色。免清洗与要清洗混线，配方必须锁死。
在规
T2
碱洗槽
水基 A-210
2.35%
36.5°C · 装载 88%
下次换液 今日换液
T3
漂洗 1
DI 循环
0.12 mS
28.2°C · 装载 54%
下次换液 2026-09-08
T4
漂洗 2
DI 循环
0.28 mS
27.8°C · 装载 51%
下次换液 2026-09-08
T5
终漂槽
新 DI
0.10 mS
26.4°C · 装载 40%
下次换液 2026-09-12
T6
溶剂槽
溶剂 · 免洗禁混
锁
22.0°C · 装载 0%
下次换液 配方锁
配槽口语
「二槽发浑」→ 换液工单。不改排放申报。