VP-03
工位 03 主泵
VCS-03
极限真空 18 micron
油 86 / 200 h · 正常
上次保养 2026-08-12
真空泵维护
油、极限真空与更换 — 掉压先看泵油，再看焊口
在线泵
4
待换油
1
本台极限真空
18 micron
油时上限
200 h
正常
VP-02
工位 02 主泵
VCS-02
极限真空 80 micron
油 214 / 200 h · 需换油
上次保养 2026-06-03
VP-01
工位 01 主泵
VCS-01
极限真空 22 micron
油 142 / 200 h · 正常
上次保养 2026-07-21
VP-04
工位 04 备用泵
VCS-04
极限真空 15 micron
油 38 / 200 h · 正常
上次保养 2026-08-20