腔体压力、捕水能力、过载监测
腔体真空
14.2
Pa · 一次干燥目标 15 Pa
捕水器
-65°C
真空波动监测 · 最近 2h
泄漏检测
正常
基线漂移 < 0.5 Pa/min
升华速率
1.2 g/h
柜内估算