杂质回写还原。超门不得供炉。
TCS 杂质谱(供 F-03)
规格门限
铁
铝
硼
磷
铜
铬
镍
其他
本批 7 日均值 规格限
质量门
| 杂质 | 本批 ppb | 门限 ppb | 闸 |
|---|---|---|---|
| Fe | 1.8 | 6 | 过 |
| Al | 2.4 | 8 | 过 |
| B | 0.12 | 0.5 | 过 |
| P | 0.35 | 1.5 | 过 |
| Cu | 0.08 | 0.5 | 过 |
| Cr | 0.09 | 0.5 | 过 |
| Ni | 0.11 | 0.5 | 过 |
| 其他 | 0.6 | 2 | 过 |
发黑归因 AI
AI 不自动开氢阀。联锁不可旁路。放空事件不可删。
装置时间 2025-05-19 14:32:18
🛡联锁生效中未旁路
🔔 12 条告警
班甲班 ▾
杂质回写还原。超门不得供炉。
| 杂质 | 本批 ppb | 门限 ppb | 闸 |
|---|---|---|---|
| Fe | 1.8 | 6 | 过 |
| Al | 2.4 | 8 | 过 |
| B | 0.12 | 0.5 | 过 |
| P | 0.35 | 1.5 | 过 |
| Cu | 0.08 | 0.5 | 过 |
| Cr | 0.09 | 0.5 | 过 |
| Ni | 0.11 | 0.5 | 过 |
| 其他 | 0.6 | 2 | 过 |
AI 不自动开氢阀。联锁不可旁路。放空事件不可删。