Poly Si 全系统正常

装置时间 2025-05-19 14:32:18

🛡联锁生效中未旁路

🔔 12 条告警

班甲班 ▾

杂质回写还原。超门不得供炉。

TCS 杂质谱(供 F-03)

规格门限
铁
铝
硼
磷
铜
铬
镍
其他
本批 7 日均值 规格限

质量门

杂质本批 ppb门限 ppb闸
Fe1.86过
Al2.48过
B0.120.5过
P0.351.5过
Cu0.080.5过
Cr0.090.5过
Ni0.110.5过
其他0.62过

发黑归因 AI

AI 不自动开氢阀。联锁不可旁路。放空事件不可删。