批次 2L-240512-017A
进行中IMP-8L-1.6mm · 8 层 · 520×420 mm · 48 片
✓图形转移
→✓显影
→●蚀刻线
→!AOI
→○阻焊
→○电测
蚀刻因子
2.37
CPK 1.42
线宽
98.6µm
CPK 1.28
侧蚀
27.1µm
CPK 0.92
AOI 良率
87.3%
缺陷总数
1,248
蚀刻因子截面
蚀刻因子截面 · Lot 2L-240512-017A
蚀刻线实时参数
| 参数 | 当前 | 趋势 | 目标 |
|---|---|---|---|
| CuSO₄ 密度 | 1.18 g/cm³ | 1.15–1.22 | |
| 铜含量 | 28.4 g/L | 25–32 | |
| 槽温 | 52.3 °C | 50–55 | |
| 喷压 | 1.8 kg/cm² | 1.6–2.0 | |
| 传送速度 | 2.4 m/min | 2.2–2.6 |
AOI 缺陷分布
- 开路33%
- 短路25%
- 缺口21%
- 残铜16%
- 其他5%
AI 预分类
图元真伪初分 · 人工复核为准
D-1042
真缺陷
D-1043
待复核
D-1044
误报
D-1045
真缺陷
电测反馈趋势
开路 短路