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干膜批、曝光尺、显影点 — 贴膜到显影全链路
干膜批次
| 批号 | 厂商 | 厚度 | 状态 |
|---|---|---|---|
| DF-240508-A | 旭化成 | 25µm | 在用 |
| DF-240501-B | 杜邦 | 38µm | 备用 |
曝光尺读数
| 能量 mJ/cm² | 线宽 | 判定 |
|---|---|---|
| 12 | 0.10 mm | 合格 |
| 14 | 0.08 mm | 合格 |
| 16 | 0.06 mm | 偏细 |
当前选用 14 mJ/cm² · 显影点 42%
CAM 备注解析
AI 初筛 · IPC 质检为准 · 不直接改设备参数
干膜批、曝光尺、显影点 — 贴膜到显影全链路
| 批号 | 厂商 | 厚度 | 状态 |
|---|---|---|---|
| DF-240508-A | 旭化成 | 25µm | 在用 |
| DF-240501-B | 杜邦 | 38µm | 备用 |
| 能量 mJ/cm² | 线宽 | 判定 |
|---|---|---|
| 12 | 0.10 mm | 合格 |
| 14 | 0.08 mm | 合格 |
| 16 | 0.06 mm | 偏细 |
当前选用 14 mJ/cm² · 显影点 42%
AI 初筛 · IPC 质检为准 · 不直接改设备参数