模块五 · 安装日 · 破损 · 更换 · 无有效膜禁止上机
Pellicle 页
颗粒会直接印到晶圆。当前 RET-8C2D-01。
膜
破损或到期
| 罩 | 膜 | 闸口 |
|---|---|---|
| D-01 | 坏 | 罩 RET-8C2D-01 pellicle 破损或到期,禁止上机 |
| B-02 | 好 | 可膜 |
| B-05 | 好 | 可膜 |

模块五 · 安装日 · 破损 · 更换 · 无有效膜禁止上机
颗粒会直接印到晶圆。当前 RET-8C2D-01。
膜
破损或到期
| 罩 | 膜 | 闸口 |
|---|---|---|
| D-01 | 坏 | 罩 RET-8C2D-01 pellicle 破损或到期,禁止上机 |
| B-02 | 好 | 可膜 |
| B-05 | 好 | 可膜 |
