层号不符或 Hold,禁止上机

模块五 · 安装日 · 破损 · 更换 · 无有效膜禁止上机

Pellicle 页

颗粒会直接印到晶圆。当前 RET-8C2D-01。

膜

破损或到期

罩膜闸口
D-01坏罩 RET-8C2D-01 pellicle 破损或到期,禁止上机
B-02好可膜
B-05好可膜
pellicle