模块四 · 曝光计数 · 清洗周期 · 到阈 ≤15000
次数与清洗
超寿命才送检就晚了。当前 RET-8C2D-01。
累计曝光
18450
清洗已到阈
| 罩 | 次数 | 清洗 | 闸口 |
|---|---|---|---|
| D-01 | 18450 | 到阈 | 罩 RET-8C2D-01 曝光 18450 次超 15000，须送检 |
| B-02 | 12450 | 未 | 可次 |
| B-05 | 8200 | 未 | 可次 |
寿命摘要
AI 草稿 · 库管确认
次数、清洗、pellicle 合成送检理由。不判 haze。
模块四 · 曝光计数 · 清洗周期 · 到阈 ≤15000
超寿命才送检就晚了。当前 RET-8C2D-01。
累计曝光
18450
清洗已到阈
| 罩 | 次数 | 清洗 | 闸口 |
|---|---|---|---|
| D-01 | 18450 | 到阈 | 罩 RET-8C2D-01 曝光 18450 次超 15000，须送检 |
| B-02 | 12450 | 未 | 可次 |
| B-05 | 8200 | 未 | 可次 |
AI 草稿 · 库管确认
次数、清洗、pellicle 合成送检理由。不判 haze。