挂牌 · 出厂格
FAT 带入
出厂条目与偏差带到现场。FAT 在厂做过、现场改过配管，SAT 仍勾复制——这正是要禁止的。
出厂验收带入
FAT-ETCH-250418
ETCH-3000
厂验 2025-04-18 · PASS
复核 4/5 · 复制勾选全部拦截
偏差带到现场
真空极限 < 5E-06 Torr
现场配管加长 2.4 m，禁止复制勾选
PCW 压差与流量
厂端接口口径 DN25，FAT 为 DN20
出厂条目
现场 SAT 另页实测，本页只带入
| 条目 | 厂验 | 日期 | 偏差 | 复核 | |
|---|---|---|---|---|---|
| RF 功率校准 600–1800 W | PASS | 2025-04-18 | — | 已带入 | |
| 真空极限 < 5E-06 Torr | PASS | 2025-04-18 | 现场配管加长 2.4 m，禁止复制勾选 | 已带入 | |
| 腔门联锁与光幕 | PASS | 2025-04-18 | — | 已带入 | |
| 急停回路切断时间 | PASS | 2025-04-18 | — | 待复核 | |
| PCW 压差与流量 | PASS | 2025-04-18 | 厂端接口口径 DN25，FAT 为 DN20 | 已带入 |