挂牌 · 实测格
SAT 实测
规格逐条、联锁/急停必测、附件与截图。急停与门联锁未实测，安全验收不能靠口头。
联锁与急停是 SAT 的硬格
未测禁止勾「SAT 完成」。AI 草稿不能代替按下蘑菇头。
腔门联锁
未测 · 禁止勾完成
急停蘑菇头
未测 · 禁止勾完成
真空联锁
未测 · 禁止勾完成
SAT-ETCH-01
完成率 33% · 硬格未齐
| 条目 | 规格 | 必测 | 结果 | 证据 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 腔门联锁 | 开门即切断 RF 与气体 | 是 | — | ||
| 急停蘑菇头 | 按下 200 ms 内掉高压 | 是 | — | ||
| 真空联锁 | 未达基压禁止开 RF | 是 | — | ||
| 排气风量 | ≥ 1000 CMH | — | — | ||
| PCW 压差 | 0.30–0.60 MPa 进水 | — | 0.42 MPa | 压力表拍照 | 已测 |
| N2 纯度与压力 | 0.40–0.60 MPa | — | 0.48 MPa | 接管点签字 | 已测 |
SAT 必测草稿
AI 草稿 · 人签为准
按设备类型生成联锁清单草稿。现场仍须实测，不遥控设备、不改配方。