设备接管 · FAB-1 / BAY-14

ARR-2025-0512-0007北辰刻蚀 驻场受限

挂牌 · 接管格

接管清单

水电气真空排气按机台清单勾。缺一项锁通电——冷却水接反、排气未测风量,通电后报设施连锁。

LOTO · 未接管,禁止通电

真空、排气、电力三点未实测签字。厂务接口预确认仍开。

铜管与真空法兰

接管点位按铜管、法兰、电力走。不是数字孪生。

铜管 = 已测签字 · 灰管 = 未测,锁通电

厂务接口实测

接口标签规格实测单位
PCW InPCW-IN0.30–0.600.42MPa已接管
PCW OutPCW-OUT≤ 0.600.35MPa已接管
CDACDA-10.50–0.700.58MPa已接管
N2N2-10.40–0.600.48MPa已接管
VacuumVAC-1≥ 1.0E-03Torr
ExhaustEXH-1≥ 1000CMH
ElectricityPWR-13Φ 380V 50Hz—

进机接管条目

类别项目责任人状态时间
设备本体设备外观与铭牌张工已接管2025-05-12 11:02
随附物品备件与工具李工已接管2025-05-12 11:10
文件资料手册与图纸王工已接管2025-05-12 11:20
软件授权软件与授权刘工已接管2025-05-12 11:25
运输信息运输与保险张工已接管2025-05-12 11:30
厂务接口接口预确认赵工待接管—