2025-05-12
切片批次时间轴 · 当前晶棒
IG-250512-07
单晶硅 · 粘棒 05-11 22:40
状态:切割中02:0003:0004:0005:0006:0007:00
总良率
93.7%
↓ 目标 ≥ 96%
损耗(片)
2,184
↑ 较昨日 -14.6%
线耗
28.6 km
当前刀次 CP-3131
TTV 合格率
92.1%
↓ 目标 ≥ 95%
崩边率
2.73%
↓ 较昨日 +0.36 pp
平均厚度
175.02 μm
在线测厚
良率趋势
TTV(μm)趋势
主要损耗原因
- 线痕57%
- 崩边28.1%
- 厚度超差8.3%
- 其他6.6%
本班损耗 2,184 片
晶棒与粘棒
- 材质
- 单晶硅 G12
- 规格
- 210×210 mm
- 粘棒时间
- 05-11 22:40
- 粘胶批次
- AD-250511-03
- 底板
- BP-G12-210A
- 气孔
- 2 处
钢线与砂浆
- 线径
- 0.180 mm
- 张力
- 18.6 N
- 砂浆浓度
- 41.1 %
- pH
- 9.2
- 线批
- WL-250511-07
- 已用
- 428 km
切割
- 进给
- 28.0 mm/min
- 主轴
- 920 rpm
- 总长
- 210 mm
- 断线
- 1 次
- 跳线
- 1 根未记
- 历时
- 35 分
环境
- 室温
- 24.1 ℃
- 湿度
- 46 %
- 砂浆温度
- 28.4 ℃
- 电导率
- 1.82 mS/cm
- 冷却液
- 循环正常
- 机台
- SW-08