粒子点位图
等级、计数、趋势与超标锁定 — 房间号等宽、科学计数法清晰
实时监测
张
A-101
Grade A
12
0.5µm
A-102
Grade B
12,300
0.5µm
A-103
Grade B
2800
0.5µm
D-01
Grade C
A-201
Grade C
A-202
Grade D
A-203
Grade D
450,000
0.5µm
D-02
Grade C
显示压差梯度
显示气流
低
高
趋势对比（近 7 采样点）
A-102 0.5µm
A-101 0.5µm
A-103 0.5µm
A-203 0.5µm