气锁间 D-01
A-202 → A-101
门开启
当前 ΔP
+4 Pa
目标 ΔP
+15 Pa
开启时长
10分14秒
压差低于目标值 11 Pa — 可能影响粒子控制
压差达成率 27%
出口气锁 D-02
A-102 → A-203
已关闭
当前 ΔP
+12 Pa
目标 ΔP
+15 Pa
开启时长
—
压差低于目标值 3 Pa — 可能影响粒子控制
压差达成率 80%
物料门 D-03
A-201 → D-01
已关闭旁路
当前 ΔP
+18 Pa
目标 ΔP
+15 Pa
开启时长
—
旁路原因：物料转运 — 已登记
旁路操作已留痕，符合数据完整性要求
压差达成率 120%
压差梯度总览
A-201
+15 Pa
D-01
+17 Pa
A-101
+19 Pa
A-102
+21 Pa
D-02
+23 Pa
A-203
+25 Pa