WaferLens / 晶鉴

晶圆图

WAF-250517-0421 · LOT2505A17 · ETCH

图类型

空间签名

边缘环

库匹配

0.92

候选 12 / 13

首次出现

2025-05-16 22:11

末次出现

2025-05-17 08:41

受影响片数

32 / 1,248 (2.56%)

1.000.300.100.03≤0.00

管芯 0.110 × 0.110 mm · 取向 0°

显示管芯网格

总体置信 0.93

统计显著（p < 0.05）

显著性 0.93

腔室编号	受影响片数	总片数	比率 (%)	提升	置信
ETCH-07	30	286	10.49	7.21	0.93
ETCH-03	2	310	0.65	0.44	0.08
ETCH-12	0	298	0.00	0.00	0.03
ETCH-01	0	301	0.00	0.00	0.03

显著性 0.91

批次号	受影响片数	总片数	比率 (%)	提升	置信
LOT2505A17	18	120	15.00	10.31	0.95
LOT2505A15	6	120	5.00	3.44	0.72
LOT2505A14	4	120	3.33	2.29	0.55
LOT2505A18	2	120	1.67	1.15	0.31

显著性 0.89

光罩编号	受影响片数	总片数	比率 (%)	提升	置信
RET-8X26A	22	220	10.00	6.88	0.90
RET-7K19B	6	220	2.73	1.88	0.46
RET-3C04A	2	220	0.91	0.63	0.18

显著性 0.94

配方	受影响片数	总片数	比率 (%)	提升	置信
ETCH_EDGE_045	30	286	10.49	7.21	0.94
ETCH_STD_030	2	310	0.65	0.44	0.07
ETCH_FAST_020	0	298	0.00	0.00	0.02

窗口 2025-05-16 00:00 — 2025-05-17 08:41 · 最小支持 20 片

作用域数据室（字段级）访问：事故组 12

时间	操作者	动作	实体类型	实体编号	详情	IP / 位置
2025-05-17 11:02:12	L. Chen	更新	事故	INC-2025-05-17-0031	步骤推进至：识别根因	10.2.18.34 / FAB-N3
2025-05-17 10:58:03	M. Patel	新增	文件	edge_ring_chamber_etch-07.png	腔室诊断摘要	10.2.18.57 / FAB-N3
2025-05-17 10:42:19	A. Singh	评论	事故	INC-2025-05-17-0031	假设：边缘气流失衡	10.2.18.61 / FAB-N3
2025-05-17 09:15:43	M. Patel	更新	遏制	隔离批次	隔离 6 批次 / 1,248 片晶圆	10.2.18.57 / FAB-N3
2025-05-17 08:42:11	系统	检出	空间签名	边缘环	模式匹配 0.92（库：ER-003）	—