腔室共同性
一眼看出哪台刻蚀腔、哪道光罩、哪条配方在失效片上过表达。
刻蚀腔室
显著性
0.93
腔室
受影响片数
总片数
比率 (%)
提升
置信
ETCH-07
30
286
10.49
7.21
0.93
ETCH-03
2
310
0.65
0.44
0.08
ETCH-12
0
298
0.00
0.00
0.03
ETCH-01
0
301
0.00
0.00
0.03
SPC 越限
ETCH-07 边缘 bin
UCL +3.2σ
ETCH-07 气体流量
漂移 1.8σ
ETCH-03 基线
受控