可共享事故报告

硅片上的事故响应 — 像值班工具,但是给良率的。

INC-2025-05-17-0031

边缘环良率跌落

签名 边缘环 · 置信 0.92 · 损失 2.56%

共同性指向腔室与配方过表达。遏制已完成,根因验证进行中。本报告仅含合同允许字段。

INC-2025-05-16-0018

光刻层棋盘bin偏高

签名 棋盘 · 置信 0.88 · 损失 4.10%

共同性指向腔室与配方过表达。遏制已完成,根因验证进行中。本报告仅含合同允许字段。

INC-2025-05-14-0009

探针划痕带

签名 划痕 · 置信 0.81 · 损失 1.12%

共同性指向腔室与配方过表达。遏制已完成,根因验证进行中。本报告仅含合同允许字段。

INC-2025-05-12-0004

中心簇异常

签名 簇 · 置信 0.94 · 损失 1.80%

共同性指向腔室与配方过表达。遏制已完成,根因验证进行中。本报告仅含合同允许字段。