作用域数据室
合同允许的字段才出厂;字段级遮蔽带审计轨迹。
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晶圆坐标 / bin 图
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腔室编号
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配方名
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传感器时序
遮蔽
光罩图形源文件
遮蔽
批次谱系
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审计
2025-05-17 11:02:12 · L. Chen · 更新
2025-05-17 10:58:03 · M. Patel · 新增
2025-05-17 10:42:19 · A. Singh · 评论
2025-05-17 09:15:43 · M. Patel · 更新
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