溅射驾驶舱

一座必须抽干净的真空锅——靶是燃料，打穿是锅漏

SR-0826-07

SiO2/ITO 120nm

今日炉次

3

未达真空启辉

0

打穿靶使用

1

膜厚绑炉率

94.2%

腔体状态 · 真空锁与启辉闸

真空 已锁
启辉 ON
本底 320.0 μPa4.2 kW · 12 rpm

当前炉次膜厚点位

P1
P2
P3
P4
P5