真空
本底压达锁方可启辉 · 泄漏率监控
腔体剖面 · 真空度
腔体 A
320.0
μPa
腔体 B
860.0
μPa
腔体 A
真空已锁
本底 320.00 μPa
锁阈 500.0 μPa
抽气 28 min
泄漏 1.2e-7 Pa·m³/s
腔体 B
未达锁
本底 860.00 μPa
锁阈 500.0 μPa
抽气 35 min
泄漏 4.8e-7 Pa·m³/s