膜厚
点位测量绑定炉次 · AI 不定膜系合格
P1 · 中心
SR-0826-07118 nm规格 120 nm偏差 -1.7%
P2 · 边缘 3 点
SR-0826-0794 nm规格 120 nm偏差 -21.7%
P3 · 对边
SR-0826-07121 nm规格 120 nm偏差 +0.8%
P1 · 中心
SR-0826-0682 nm规格 80 nm偏差 +2.5%
点位测量绑定炉次 · AI 不定膜系合格
P1 · 中心
SR-0826-07P2 · 边缘 3 点
SR-0826-07P3 · 对边
SR-0826-07P1 · 中心
SR-0826-06