功率
阴极功率、偏压、转速与气氛流量
阴极-1
SR-0826-07功率
4.2 kW
偏压
-120 V
转速
12 rpm
Ar 流量
45 sccm
阴极-2
SR-0826-07功率
3.8 kW
偏压
-115 V
转速
11.5 rpm
Ar 流量
42 sccm
阴极-1
SR-0826-06功率
5.1 kW
偏压
-135 V
转速
8 rpm
Ar 流量
38 sccm
功率波动 · 检查阴极冷却
阴极功率、偏压、转速与气氛流量
阴极-1
SR-0826-07功率
4.2 kW
偏压
-120 V
转速
12 rpm
Ar 流量
45 sccm
阴极-2
SR-0826-07功率
3.8 kW
偏压
-115 V
转速
11.5 rpm
Ar 流量
42 sccm
阴极-1
SR-0826-06功率
5.1 kW
偏压
-135 V
转速
8 rpm
Ar 流量
38 sccm
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