靶材
寿命 kWh、侵蚀环与打穿判定 · 批次不可混
TG-A1
批号 TG-2408-A · ITO 陶瓷
412 / 450 kWh侵蚀环 2.1 mm
TG-B2
批号 TG-2407-C · Ti 金属
468 / 420 kWh侵蚀环 4.8 mm
TG-C1
批号 TG-2408-B · Al 99.99%
86 / 380 kWh侵蚀环 0.6 mm
寿命 kWh、侵蚀环与打穿判定 · 批次不可混
TG-A1
批号 TG-2408-A · ITO 陶瓷
TG-B2
批号 TG-2407-C · Ti 金属
TG-C1
批号 TG-2408-B · Al 99.99%